無隔板高效空氣過濾器規格參數簡介
當今潔凈工程中最常見的高效過濾器品種。用于各種潔凈廠房的末端過濾、潔凈工作臺過濾。無隔板高效過濾器已經替代了大部分傳統有隔板高效過濾器。
效率規格:
普通HEPA過濾器的效率≥99.97%(0.3μm粒子,或DOP法、鈉焰法);
ULPA的效率≥99.999%(MPPS法,0.1-0.2μm粒子掃描,0.12μm粒子)。
尺寸規格:
邊框寬度為203,305,610,762,9151219,1524,1829(mm),其中最常用的尺寸為610mm*610mm和1219mm*610mm;
過濾器厚度為60-90mm。
過濾材料:
玻璃纖維濾紙,聚四氟乙烯纖維濾紙(新材料,尚未普及)
外框:
鋁型材,不銹鋼
濾紙間分隔物:
熱熔膠,絲線,玻璃纖維枝條。
測試:
出廠前必須經過逐臺性能檢驗。當前最流行的方法是使用計數器進行掃描檢驗。
測試風速為0.45m/s時,過濾器各點的風速波動不超過±20%。
用于線寬≤0.5μm的芯片廠時,過濾器無任何揮發物,檢測時不使用液態粉塵。

